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10月20日下午,安徽省重點研發計劃“半導體微件高通量缺陷檢測與分揀關鍵技術研究”啟動會議在中國科學院合肥智能研究所召開。省科技廳有關領導、智慧院黨委書記吳麗芳、副院長宋全軍參加了會見。
項目團隊由合肥工業大學、安徽大學和合肥研究院的專家學者組成,鄭春厚為負責人。項目負責人王耀雄匯報了項目進展情況。專家組對項目前期工作、項目技術路線、項目組織實施給予了積極評價,并對項目開發過程中應注意的問題進行了指導。會后,專家組參觀了智能感知技術研究中心實驗室、高速視覺等研究成果。
“微小半導體元器件高通量缺陷檢測與分揀關鍵技術研究”項目由安徽省智能、京威特電子有限公司、合肥潤谷科技有限公司主持。共同承擔,3c半導體器件領域表面缺陷質量控制要求、準確采樣和高速缺陷識別及穩定分選技術研究等項目,開發半導體微件高通量分揀設備,并在行業龍頭企業生產線上進行應用示范。該項目的順利啟動,對于促進半導體微件分揀關鍵技術在智能研究院的積累,提升我省在半導體產業鏈質量控制環節的競爭力具有重要意義。
智能感知中心主任宋波、副主任聶宇曼、合肥精維特電子有限公司技術中心副主任王鑫、安徽潤谷科技有限公司聯系人王涵、財務總監畢東勤等項目相關人員參加了會議。
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